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ortsaufgelöste Oberflächen-Modifizierung
Die physikalischen und chemischen Eigenschaften von dünnsten Schichten lassen sich u.a. aufgrund ihrer geringen Masse sehr leicht beeinflussen. Da es sich lediglich um eine Molekülschicht handelt, müssen dazu nur einige wenige Moleküle verändert werden, um etwa eine flächige Änderung der Oberflächeneigenschaften zu erreichen.

Eine solche Modifizierung der Monoschicht kann so auch ortsaufgelöst durchgeführt werden. Anders als bei den herkömmlichen, deutlich dickeren Beschichtungen kann dabei eine extrem exakte Grenze zwischen einem modifizierten und unbehandelten Areal genau zwischen zwei benachbarten Molekülen verlaufen. Dadurch lassen sich bei einer sehr hohen Auflösung extrem kleine Strukturen auf einer Oberfläche realisieren.
Lithografische Methoden ermöglichen dabei die Herstellung von Strukturen im Nano-Maßstab.